二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #9266062 待售
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已售出
ID: 9266062
晶圆大小: 6"
优质的: 1993
Stepper, 6"
Fine line resolution: 1.0 µm
Depth of focus: 3.0 µm at 1.0 µm lines
Maximum square: 18 mm x 18 mm
Maximum aspect: 39 mm x 1.4 mm
Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm
Reticle size: 3" x 5" x 0.090"
Alignment: WAS
Computer: HP 362
With hard disk
No MVS
Wafer handling:
Cassette to cassette auto loader
SEMI Standard
1993 vintage.
ULTRATECH UltraStep 1500是一种晶圆步进器,可在各种应用程序中提供高水平的性能。该设备旨在在包括半导体晶片在内的各种材料表面上精确有效地绘制所需的光刻工艺图样。它具有简单的用户友好界面,允许快速、轻松地进行设置,并使其成为各种用户的绝佳选择。UltraStep 1500采用高分辨率石英投影透镜和高度自适应的可编程级来提高精度和可重复性。它拥有先进的光学系统,可产生清晰、精确的图像,且像差和图像变差最小。这个单元还有一个集成的激光机器,用于晶圆和掩模的对准。ULTRATECH UltraStep 1500具有多种高级功能,使其成为阵列化过程的理想选择,并增加了详细程度和复杂性。此工具利用先进的X/Y扫描技术来实现各种特征尺寸的全场曝光精度。它还具有高吞吐量设计,能够快速高效地对较大区域进行阵列设计。UltraStep 1500还集成了多种集成控制功能。此资产具有完全可编程的曝光设置,因此可以快速轻松地存储精确的参数并将其应用于不同的项目。它还支持多种曝光类型,包括单层和多层曝光、可变功率/时间曝光、斑点曝光和可变线宽曝光。ULTRATECH UltraStep 1500由于其高精度和可重复性,是精密阵列处理的理想选择。它旨在满足各种阵列需求,其集成的控制功能和用户友好的界面使其成为晶圆级封装操作的杰出选择。该模型是生产和实验室应用的绝佳选择,为光刻工艺的研发提供了绝佳平台。
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