二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #9296388 待售
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ULTRATECH UltraStep 1500是一种高性能晶圆步进器,旨在为各种半导体制造工艺提供精确的位置对准。这种步进器具有先进的光学系统,配备独立的轴向对准能力,为目标晶圆材料提供高分辨率、精确的定位。这种步进器的设计具有稳定性和低热漂移,精密的二维晶片对准精度高达0.5 µm。它还与各种应用需求兼容,从光刻、晶圆检测到基材加工。UltraStep 1500包含自动晶圆识别和阶段寻址系统。这样可以确保在工艺的每个步骤之前准确定位每个晶片。步进器采用铝合金构造,经过阳极氧化,在保持轻质的同时提供最大强度和耐用性。它还具有耐用的不锈钢饰面,可防止腐蚀和磨损。ULTRATECH UltraStep 1500还集成了一个全面的安全系统,包括内置的安全功能,如紧急停止按钮、安全的工作区外壳、激光保护设备和乳晕面板。这样可以确保用户在操作过程中免受与步进器交互的影响。UltraStep 1500采用多功能伺服电机,可提供高扭矩、高精度和高速性能。该电动机的设计满足了广泛的半导体制造需要。它还能够加工多种基材,包括金、铜、金刚石、硅、铝。此步进器还提供高级编程功能。这使得以精确的精确度来控制涂层、成像、蚀刻和沉积等过程变得容易。它还与各种晶圆管理系统兼容,允许进行批处理、错误检查和自动清理功能。总体而言,ULTRATECH UltraStep 1500是一种高度可靠的晶圆步进器,它提供高级功能和直观的控制,以满足半导体制造商的制造需求。它为各种制造工艺提供了更高的稳定性、低热漂移和精确的二维晶圆对准。这种步进器是各种基板精密加工的理想选择,是半导体应用的绝佳选择。
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