二手 ULTRATECH Ultrastep 990 #9237976 待售

ULTRATECH Ultrastep 990是为亚微米光刻设计的先进、高精度的晶圆步进器，提供出色的临界尺寸（CD）控制和可重复性。该设备利用先进的硬件和软件实现高吞吐量，同时保持极好的精度。Ultrastep 990的核心是先进的光学成像子系统。光学系统为每次曝光提供高分辨率的图像采集和精确的晶圆配准。精确对准精度为0.5 μ m （1 μ m特征大小的十分之一）。该设备由直观的图形用户界面（GUI）提供支持,旨在实现简单高效的操作。GUI允许完全控制机器参数,例如速度和精度以及作业执行。此外,它还提供全面的报告功能,使用户能够监控晶圆吞吐量、检测和纠正错误,并确保最佳的过程控制。ULTRATECH Ultrastep 990利用专有的超高速光源，以最小的开销实现快速晶圆处理。其宽孔径和双激光传感器提供了出色的检测能力，即使有密集的模式。此外，其先进的扫描处理器和晶片级在暴露的晶片表面上提供快速和准确的图样。Ultrastep 990设计用于可靠高效的操作,即使在要求最苛刻的环境中也是如此。其坚固的真空夹紧工具确保了晶片的稳定装卸，其刚性框架结构和密封的光柜最大程度地减少了空气中的污染。此外，其先进的隔振资产可以防止环境噪声的干扰。ULTRATECH Ultrastep 990是最佳光刻吞吐量的绝佳选择。其强大的硬件和软件体系结构，加上出色的成像和配准能力，使其成为精密亚微米光刻的完美模型。凭借卓越的性能和可靠性,Ultrastep 990能够满足最苛刻的光刻需求。