二手 ULTRATECH Unity AP200 #9280624 待售

ULTRATECH Unity AP200 Wafer Stepper是一种先进的步进重复光刻设备，设计用于半导体制造。它能够在200毫米晶片上一次曝光图样图像。Unity AP 200的光刻光学为更详细的影像提供NA=0.6的高数值孔径（NA）。该系统配备了3.3Mega像素数码成像相机，提供30毫米x 40毫米的视野。相机利用低噪声成像传感器提供14位深度分辨率的动态图像范围。这样可以更准确地复制晶圆上的图像。ULTRATECH UNITY AP 200的机电元件设计精密可靠。这是由设备的下列特性所实现的：用于晶片精确对准和定位的6轴运动机床、用于高达5弧秒的旋转配准精度的高精度旋转级,以及高达2500 mm/s的高线性速度。Unity AP 200的算法能够高精度地暴露复杂的模式。它们包括用于非线性扫描阵列的高阈值支持阵列和后端阵列,以实现不同的阵列类型和最小程序大小。ULTRATECH Unity AP200还包括一台用于自动对焦控制的外部激光干涉仪、一台用于保护光学元件的集成粒子监控器以及一个用于降低对资产性能的热影响的冷却工具。此外,该模型还具有用户友好的图形用户界面（GUI）、开放式体系结构和软件开发工具包（SDK）,旨在方便操作。这些功能确保用户可以轻松地为各种应用程序编程和处理映像。总体而言，Unity AP200 Wafer Stepper是一种先进、可靠的光刻设备，能够对200 mm晶圆上的图样进行精确的成像。其用户友好的界面、高精度的机械元件和健壮的算法使半导体应用能够产生高质量的图像。