二手 ULTRATECH Unity AP200 #9306126 待售

ULTRATECH Unity AP200是一个晶圆步进技术平台，专为顶级光刻作业而设计。该AP200是一种高速重复30-GHz处理设备,具有卓越的成像精度、灵活的晶片处理能力和先进的工艺控制技术。其先进的光学系统采用可调远心透镜，最大限度地减少晶圆失真，确保强大的成像场。该设备可以以高达3秒/晶圆步长的工艺速度处理超过50微米的音高。AP 200的自动化操作是完全可扩展的,并且在处理不同的晶圆尺寸、设备和基材材料时提供了最大的灵活性。机器有很大的工作区域，可以定制以容纳5英寸和8英寸晶圆。它完全配备了各种场平整和多模执行功能，以及自动图像优化。该工具还具有全面的过程控制功能,包括光学对准、基准对准和成像性能监控。该AP200能够捕获缺陷信号并生成具有可配置曝光参数的特殊模式。它还提供了广泛的日志跟踪和分析过程历史的工具。该AP200的设计符合最高性能标准。它提供了非凡的成像精度、出色的工艺可靠性和多重冗余特性。其自动化的对齐资产使得维护一致的处理参数和防止错位变得更加容易。此外，其巨大的视野大大提高了成像能力，促进了明确的成像领域。统一AP200是任何光刻需要的完美解决方桉，从极端分辨率微电路到大规模集成系统。它提供了无与伦比的速度和精度，其先进的工艺控制技术使其更容易获得卓越的质量效果。该模型专为最大吞吐量、鲁棒性和易用性而设计,几乎可以处理任何晶圆尺寸。无论是寻求极高的精度还是增加的产量，AP200都是完美的选择。