二手 ULTRATECH Unity AP300 #293816715 待售

ULTRATECH Unity AP300是一种用于驱动半导体生产过程的光刻晶圆步进器。它是作为AP系列光刻设备系列的补充而开发的，提供了强大的制图能力和提高的吞吐量。这种稳健的晶片步进器提供了快速、精确和可重复的阵列,从而提高了产量并降低了成本。该晶片步进器利用5轴级和静止场投影光学器件来确保晶片的快速、均匀曝光。该设备采用独有的倒置失真成像系统，在聚焦和扫描晶片时补偿失真，从而实现精确曝光和对准。晶片步进器利用Xact分辨率技术提供目标角的最佳聚焦和分辨率,从而可以在任何基板上可靠地成像图样。ULTRATECH UNITY AP 300的设计还通过优化步进器性能、最大限度地减少晶圆装卸造成的停机时间以及优化整体吞吐量来实现高生产率。利用其先进的功能集,此晶片步进器能够在最紧密的线宽/空间（LWS）比率范围内提供宽范围的磁场大小的晶片。晶圆步进器利用6英寸方形基板尺寸，使其与广泛的晶圆兼容。Unity AP300配备石墨炉，提供均匀的温度控制，防止敏感基板上与热有关的变形。此外,它还具有智能子字段功能,可将大字段细分为较小的子字段,以实现更好的曝光。晶片步进器具有直观的图形用户界面以简化设置和操作,以及状态报告窗口,可随时向用户通报当前的作业进度。UNITY AP 300专为提供可靠可靠的阵列而设计,为各种应用程序提供了极致的灵活性、性能和工作效率。凭借先进的成像技术、直观的界面和先进的功能,AP300提供了用于简化晶圆生产过程的尖端技术。