二手 ULTRATECH Unity AP300 #9247822 待售

ULTRATECH Unity TM AP300是一种通用的高精度晶圆步进器,用于微电子器件的精密光刻曝光。它专为亚微米器件的高通量生产而设计，在整个模具尺寸周围具有亚微米的配准能力。它具有下一代处理技术,包括工作管理、光圈设计、多层阵列和迭加对齐。利用75微米数值光圈的紫外光源.它同时支持步进重复和全场模式投影曝光。它有一个专利，可倾斜的标线架，简化曝光编程，模式曝光和对齐。此外，它还拥有一个创新的、方便用户使用的真空设备，能够最大限度地减少污染和拒绝在平台上建立起来。该系统具有用于移动基板的精密伺服控制级和用于精确位置反馈的高分辨率编码器。它具有独立的双非接触探针单元，具有较高的迭加对准精度。其持有者的设计使晶片加载、操作、对准和暴露的高密度模具能够快速和方便。它还允许方便地进入标线，并有一个自我监控的运输机器。它还有一个网络监测工具，以确保高效生产和过程完整性。控制器包括PC兼容PC和专用ULTRATECHTM Progmatic 2.0控制器。PC兼容PC是一种高端、多处理器的资产,具有全套PC应用程序。此模型包括一个用户友好的界面,可实现模具设计、标线设置和神经网络驱动的过程优化。Progmatic 2.0控制器是真正的开放式体系结构、多任务机器人控制器,它管理步进自动化和机器功能。它提供了多种复杂的功能,以满足高容量平版印刷生产所需的高端性能和可靠性。ULTRATECH Unity TM AP300的设计符合最高质量的光刻要求,曝光精度达到0.3 um （3.0 σ。它还提供20nm及更高的高速曝光,从而实现了高级和超小型设备的高通量生产。它满足了低功耗、高性能集成电路最严格的光刻要求。总体而言，它为高精度、超可靠的光刻曝光和先进微电子的生产提供了经济高效的解决方桉。