二手 ULTRATECH XLS 200 #9382961 待售

ULTRATECH XLS 200晶圆步进器是专门为制造亚微米半导体晶圆而设计的先进光刻设备。该系统拥有最新的先进成像和曝光技术,为用户提供最高水平的准确性和成本控制。ULTRATECH XLS200利用可伸缩的集成光学平台和双步进电机驱动单元,可提供高达一整个纳米的精度。该平台设有全场扫描阶段、集成模式发生器和自动曝光机。集成模式发生器的重复精度为10nm，可实现0.5 μ m的高精度分辨率。XLS 200配备了先进的曝光工具,集成扫描阶段能够以6秒/扫描的速度扫描200 mm晶圆。曝光资产具有多种算法，包括优化的运行时功率补偿、整体对齐和剂量整形，允许用户最大限度地提高吞吐量，最大限度地减少功耗。XLS200还采用了全自动晶圆磁道管理模式。此功能允许更快地加载输入,并减少手动调整,以确保最高的吞吐量和准确性。晶圆轨道管理设备还提供了全面的系统历史记录，允许用户跟踪错误、跟踪错误、优化操作以快速高效地完成任务。ULTRATECH XLS 200是ULTRATECH最强大、最先进的光刻单元，旨在满足半导体行业要求的最高精度水平和成本控制。ULTRATECH XLS200具有集成的光学平台、更高的分辨率以及自动曝光和晶圆轨道管理系统,是关键制造和开发周期的首选机器。