二手 ULTRATECH XLS 7500 #9166601 待售

ULTRATECH XLS 7500是松下的下一代晶圆步进器，设计用于整个模具的高精度成像。它是一个先进的光学成像平台，自动化晶片上和外的模具放置过程。XLS 7500允许制造商以高达前几代步进器速度七倍的速度生产批量晶片。ULTRATECH XLS 7500的光学传送设备在分辨率、焦点移位和焦点深度方面提供了卓越的性能。它还具有扩展的聚焦深度范围，当对直径达300毫米的晶片进行成像时，可以提供最佳的灵活性。XLS 7500采用智能成像系统,可根据需要自动调整曝光参数。这样可以在最短曝光时间内确保高分辨率成像。ULTRATECH XLS 7500采用自调节电机驱动单元设计。这样就可以在整个分辨率范围内精确快速地定位晶圆。电机驱动器无需手动调节,并确保整个晶片图像质量的一致性。XLS 7500还提供了一个扩展的视图链和捕获区域。这样可以在一次曝光时加载更多的扭曲,从而提高吞吐量。步进器还具有集成缺陷控制机，可自动识别和消除缺陷晶片。这样可以确保只将原始晶片发送到下一个处理阶段。ULTRATECH XLS 7500还提供了全面的视图对齐套件。它会自动最大化可用字段的数量,并在捕获图像之前检查每个字段的对齐方式。这样可以确保在整个晶片上准确放置图样,且最小程度地未对齐。XLS 7500还允许与在线计量系统集成。这使制造商能够定量测量每个步进器曝光后每个模具放置和成像步骤的结果。这在生产过程中提供了高度的精确度。总体而言,ULTRATECH XLS 7500是一种功能强大且高效的晶片步进器,其设计目的是以高达前几代步进器七倍的速度生产批量晶片。它结合了强大的光学成像工具与集成的缺陷控制和对准系统，以及集成的电机驱动资产。它还提供了一个全面的视图链和捕获区域，并与在线计量系统集成，允许高度精确的生产过程。