二手 ULTRATECH XLS 7500 #9241365 待售

ULTRATECH XLS 7500是一种多用途晶圆步进器，设计用于各种基板上的成像能力。步进器利用LED和汞灯、镜子、棱镜和光圈等光学元件阵列进行高度详细的成像。它具有高分辨率的能力，可以保证1.2微米的最小特征尺寸，从而实现微光刻模式的步进。步进器具有可选的高级高速成像软件包,只允许10毫秒的曝光时间,从而提高吞吐量。它还拥有先进的光谱成像封装，可以从254-365 nm的范围内选择最合适的波长，以最大限度地提高掩模和基板的对比度。此外，步进器有一个先进的对准包，它允许微调对准和测量晶圆与具有亚微米精度的传感器。步进器具有多种功能,可确保其长期可靠性。它有一个空气净化系统，该系统使用碳过滤器和高效颗粒物空气过滤器过滤任何颗粒物污染物，用于清洁房间环境。它具有精确的框架冷却器，可确保工艺温度的稳定性和准确性。另外，步进器有一个三点晶片支架，保证晶片在加工过程中的稳定性和对齐。XLS 7500还具有高度可访问性和用户友好性。其用户友好的图形用户界面（GUI）允许轻松操作和配置,而其高级数据建模和软件套件则允许系统级监控。此外,该机器与业界最新的数据格式和接口兼容,例如VME、千兆以太网和基于SCSI的系统。这台机器也很容易适应广泛的应用。它提供了广泛的镜片如折射和折射，并与电动舞台，以适应不同的工作距离。此外,还可以使用各种附加硬件和附件进行定制,例如基板卡盘、加热基板表和晶片边缘安装系统。总体而言,ULTRATECH XLS 7500是一款用途极为广泛的晶圆步进器,具有先进的成像功能和功能,易于操作和配置。它提供高精度和高分辨率的成像,以及一系列可靠和高效成像的功能。其广泛的自定义选项确保它几乎适合任何应用程序。