二手 ULTRATECH XLS #9191710 待售

ULTRATECH XLS是一种处理晶片的步进器，特别适合生产精确的器件和太阳能电池组件。它的受控轴位置精度高达0.3 μ m,基本扫描传感器精度为0.25 μ m。由于其高速加工和成本效益，它是高精度晶片生产的一个具有成本效益的选择。XLS具有专用的晶片对齐机制，可以记住和回忆最后加载的晶片位置，节省设置时间，减少使用相同晶片集时重新对齐的需要。其分辨率为0.02微米的CCD边缘检测设备确保每个晶片定位正确。花岗岩平台设计提供了良好的稳定性和减振特性，并最大限度地减少了热漂移。对于产品运输,步进器具有集群模块,可同时传输多达六个托盘。为了提高安全性和更高的精度，晶片通过真空系统安全地固定在机器的各个部分。ULTRATECH XLS是处理晶片的可靠、高效且具成本效益的选择，适用于各种不同大小和形状的晶片。它提供多种曝光技术，包括空中图像采样。可以根据晶片的大小选择扫描字段的大小。此外，XLS还配备了自动背面清洗装置，保证晶圆的无渣边缘。ULTRATECH XLS专为苛刻的生产环境而设计,并提供高精度的制造工艺。它易于使用的过程控制器确保了平台的快速变更,从而提高了效率。步进器还提供集成的扫描仪检测机和各种晶圆盒。XLS有几组工艺参数，如曝光剂量、遮罩厚度和曝光时间，可用于根据要求定制设备。其模块化设计和优越的光学性能保证了准确快速的结果。它也是一个安全的选择，因为它配备了防潮工具和智能电源监控。综上所述，ULTRATECH XLS是各种晶圆加工和制造应用的绝佳选择。它提供了快速、精确和经济高效的结果,其自动化功能确保了生产过程中的高质量和安全。