二手 ACCRETECH / TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64 #9226927 待售

ACCRETECH / TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64
ID: 9226927
晶圆大小: 8"
Wafer surface measurement system, 8".
ACCRETECH/TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于测量半导体晶圆和其他平面的表面特性。这个系统配备了一个5轴CNC(计算机数控)级,允许它沿着X、Y和Z轴精确精确地扫描晶圆表面。该单元还与PTR(平台平移旋转器)集成在一起,实现晶圆配置文件和配置文件数据采集的自动映射。ACCRETECH Surfcom 590A-64具有高达200毫米/秒的扫描速度以及2轴自动聚焦功能,使其能够以极高的精度扫描和测量曲面。TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64配备了具有高精度干涉仪、激光、LED和干涉仪光学元件的高速测量机。此工具能够以高达0.5nm的分辨率进行曲面测量。资产还包括允许轻松分析测量数据的软件包。所有模型数据(包括测量数据)都可以保存到数据库中,以便将来进行分析、监视和趋势确定。此外,Surfcom 590A-64还配备了多种便于使用的特性和功能,如液晶显示器(液晶显示屏),允许用户监控所有设备设置和功能、自动校准例程以及用户可选择的测量条件。该系统还配备了多项安全功能,如过度填充防护、单位温度监测、紧急停止装置等。总体而言,ACCRETECH/TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一台先进的综合性晶片测试和计量机器,适用于测量和分析半导体晶片等平面的表面特性。该工具具有高精度、精确度和广泛的特性和功能,是各行业的可靠工具。
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