二手 ACCRETECH / TSK Surfcom 2000DX #293606726 待售
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ID: 293606726
优质的: 2007
Surface roughness measuring system
TIMS
Stone surface plate:1000 x 450 mm
Operating system: Windows XP
Measurement range:
X-Axis: 100 mm
2007 vintage.
ACCRETECH/TSK Surfcom 2000DX是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是精确测量模对相邻曲面以及其他基板特性。该系统包括两个组件：主单元和自动旋转表。主单元装有CCD摄像机和线性级，可以在晶片上移动以测量其特性。旋转表可用于调整晶圆的角度或倾斜度，使表面拓扑能够在三个维度上进行测量。TSK Surfcom 2000DX使用高分辨率CCD相机，可捕获多达200万像素。通过将这种精密光学与集成软件算法相结合，该单元能够检测和测量精度高达30nm的特征。这使其能够测量线宽、沟槽、步高、横向表面粗糙度和层间介电填充等特性。该单元还具有图像处理机器，可以实时处理多个图像。该工具将数字图像处理技术与先进的模式识别算法相结合，从晶圆图像中提取临界测量。该软件还包括一个功能强大的可视化资产,它以2D和3D格式显示捕获的图像和测量结果。该模型还能够进行Die-to-Film （DTF）比较和分析。此过程可以将基板表面特征与保存在"胶片库"中的地形模式进行精确比较。最后，设备支持广泛的计量功能，如应力测试、集成电路分析、涂层厚度测量、非接触晶圆映射等。总体而言,ACCRETECH Surfcom 2000DX是一个功能强大的晶圆测试和计量系统,能够精确测量模对相邻曲面和其他基板特征。它结合了光学和软件算法，使其能够以高达30nm的精度捕获和分析图像，而其模式识别算法和可视化工具让用户能够快速分析数据。最后，该单元能够进行DTF比较和分析，以确定晶圆的精确地形。
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