二手 ADE / KLA / TENCOR 3910 #149419 待售

ADE/KLA/TENCOR 3910是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体计量实验室。该系统能够对各种半导体器件进行表征和可靠性测试,使公司能够满足其产品资格和生产要求。ADE 3910单元由39100分析仪、39130自动测量机和39165自动焊料测量工具组成。39100 Analyzer拥有7轴定位资产和高分辨率CCD摄像头。这种组合允许对晶片表面进行非接触、无损测量，包括临界尺寸（CD）、目视检查、薄膜分析和模具级测量。39130 AMS旨在处理多轴、多模式计量数据的分析,从而能够同时测试和测量晶圆的顶面和底面。该模型可以处理大小型结构,并具有高分辨率的光斑尺寸扫描摄像头和两台用于样品定位的并行扫描仪,从而能够对5微米分辨率以下的特征进行高质量的表面扫描。39165 ASMS专为测试和测量半导体晶片上焊接接头和键垫的完整性而设计。它可以自动获取焊料凸点的图像，并能够以0.5微米的高精度测量其高度和宽度。此外，该设备设计用于检测焊接上的空隙、球、结节和其他缺陷。除了质量保证系统外，KLA 3910还提供了广泛的晶圆级计量工具，包括软缺陷和根本原因分析、相滑缺陷检测、缺陷检测速度以及广域和线宽均匀性测量。3910系统还具有校准实用程序,可以微调计量测量和模具级地形数据的自动分析。总体而言，TENCOR 3910是一个结合了多种复杂计量系统能力的多合一单元。它能够对半导体晶片进行完整的分析,确保半导体产品的性能和可靠性。凭借其灵活性和准确性,ADE/KLA/TENCOR 3910为工程师提供了完整而可靠的表征解决方桉。