二手 ADE / KLA / TENCOR 3910 #9301295 待售

ADE/KLA/TENCOR 3910晶圆测试和计量设备是一种先进的自动化系统，用于评估半导体器件和材料如晶圆的变化。该单元同时配备了宏观和微观检测系统，以提供晶圆状态的准确数据。宏检验机检测整个晶片表面，能够检测到大规模光刻相关的屈服问题。微检查工具使用高分辨率成像和光谱检测分辨率为0的个别缺陷。5 μ m或更高。资产配备了运输和分期硬件，用于将晶片索引和运输到站点，并通过检查和计量过程。该模型旨在提供对过程和工作过程的实时输入/输出控制。此外，ADE 3910具有先进的设备控制器，集成了数据传输、晶圆处理、检查和半导体晶圆测试的测量软件。KLA 3910能够快速识别分辨率高达0.3 μ m的缺陷。该系统使用自动缺陷识别技术，而不是劳动密集型手动显微镜检查。这有助于快速准确地提供数据。该单元还可以测量电阻率、地形、暗电流、片状电阻、电容等光学特性。该机还具有先进的特征计量能力，包括粗糙度、表面地形、轮廓、平坦度、高度等等。这允许分析特征线性、临界尺寸、迭加等。3910还允许以微观精度测量包括颠簸和垫片在内的3D形状。总体而言,TENCOR 3910晶圆测试和计量工具是一种先进的自动化晶圆测试和计量资产,旨在为现代半导体器件和材料快速高效地提供准确的数据。ADE/KLA/TENCOR 3910具有广泛的高分辨率成像和计量功能,是半导体晶圆测试和计量应用的理想选择。