二手 ADE / KLA / TENCOR 603 #9397720 待售

ADE/KLA/TENCOR 603是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在满足最苛刻的工艺控制应用的需求。该系统对生产过程中不同级别的设备提供高速、高精度的表面分析测量。该装置能够检测小到5nm的缺陷，确保了高度精确的计量和优异的屈服性能。ADE 603配备了快速扫描孵化器（FSI）和自动缺陷审查（ADR）软件，比传统晶圆检测系统提供精确的测量和更高的精度。FSI使机器能够快速测量设备表面特征,从而实现快速的数据采集和分析。ADR软件可确保缺陷检测的精确自动化,有助于提高产量性能和产量。KLA 603工具由多种工具选项支持,包括自动测量存档（AMA）、多维触摸探测器资产和基于激光干涉测量的检查工具。AMA是模型的独特功能,允许自动归档尺寸、特征配置文件和模式识别报告,从而支持最高的准确性。扩展的触摸探针设备能够测量设备表面的4轴和10个点,可精确测量各个结构以及完整的轮廓测量。最后，基于激光干涉测量的检测工具能够对表面和钝化层进行非接触式检测。603是高端工艺控制应用的理想选择,能够精确测量和全面分析设备尺寸和形状。该系统将高速、高精度的曲面分析测量、易于使用的刀具选项和高级体系结构相结合,可实现最大的产量和成本效益。