二手 ADE / KLA / TENCOR 6033 #9162771 待售

ADE/KLA/TENCOR 6033晶片测试计量设备用于测量器件尺寸、MOSFET的临界直流和交流电参数、双极、电阻、电容器、非易失性存储器（NVM）结构和硅晶片上的逻辑门等关键器件参数。该系统能够收集和分析数百个数据点,以确保设备正确制造。该单元是为精确、速度和灵活性而设计的。它有一个自动晶片处理机，用于对直径不超过8英寸的晶片进行分类。此外,该工具还提供了几种独特的功能,可以在单个晶片上对多个芯片进行晶圆级测试。由于其高分辨率的光学模型,该资产能够以高精度和高精度测试高达400 um厚的设备。它采用了明场和暗场成像设备，通过捕获曝光时间仅为几百纳秒的图像提供了优越的信噪比。该系统配备了3轴级运动，使得能够快速测量横跨晶圆的大量测试数据点。ADE 6033单元提供了一套工具,可实现高通量毫米级和亚微米级的测量。它包括丰富的分辨率设置，可以快速灵活地设置和使用。测量能力包括：快速地形测量、快速IP计量、脉冲电参数测量、电容电压曲线测量和栅极氧化物击穿测量。此外，机器的集成软件平台减少了数据分析的时间和复杂性。通过利用工具的工具集,它可以快速识别工艺缺陷和晶片装配、设备性能、阈值电压、模具位置精度的中心以及数据精度。KLA 6033晶片测试和计量资产是一种先进的模型,它为晶片测试提供了更高的速度、准确性和灵活性。它提供了一整套测试工具,可快速准确地识别过程和设备缺陷。