二手 ADE / KLA / TENCOR 6033T #196422 待售

ADE / KLA / TENCOR 6033T
ID: 196422
晶圆大小: Up to 6"
Wafer thickness measurement system, up to 6" Specifications: Non-contact All electronic gaging Measures thickness and total thickness variation (TTV).
ADE/KLA/TENCOR 6033T是为1063 nm的先进半导体器件的光谱域红外光致发光(PL)和激光散射场(SF)计量设计的晶圆测试和计量设备。系统配备了60倍放大光学显微镜,两个中心波长可调的激光源,以及一个覆盖光谱范围200-1700 nm的光学单元。光学显微镜用于检查晶片,对准和聚焦激光器。光学机器支持静态和动态PL测量模式,允许用户对晶圆的性能进行详细测量。ADE 6033T还提供了一个实时粒子计数,这提供了一个洞察任何污染的晶圆。KLA 6033T与提供直观测试和数据分析图形用户界面的软件套件集成,以及自动分析、设备匹配和纠错的软件算法。软件还支持从一个接入点远程监视和管理多个6033T系统。TENCOR 6033T提供了广泛的功能,旨在使晶圆计量更容易、更准确。该工具使用高度敏感的检测算法来检测晶圆上的设备之间甚至很小的差异。它还可以识别缺陷,检测异常器件,并以亚微米精度测量晶体管和其他内部节点。资产包括风冷765 nm激光器和超稳定532 nm激光器,能够在光谱范围内提供高达60mW的平均功率,用于PL测量。先进的激光器还提供了更高的精确度,用于捕获精细细节和在宽波长范围内进行晶圆级测试。总体而言,ADE/KLA/TENCOR 6033T是一种非常可靠和准确的晶圆测试和计量模型,旨在满足半导体行业的苛刻需求。它提供了极致的精度、速度和灵活性,使用户能够快速准确地测量其设备的性能。
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