二手 ADE / KLA / TENCOR 6035 #134761 待售

ADE/KLA/TENCOR 6035是一种晶圆测试和计量设备,旨在分析与当前一代半导体工艺相关的生产级设备特性。该系统非常适合评估未封装或封装的元件和组件。ADE 6035由一系列组件组成,使设备能够执行缺陷表征、测试屈服和高级工艺控制的关键测量。KLA 6035机的核心是机械结构，包括晶圆助推器和大面积、高速基板台。晶圆助推器用于将样品晶圆装卸到表中。此功能能够快速周转晶片,确保准确的样品处理和一致的高质量晶片测试结果。高速基板表的设计是通过一次实现多个晶片的并行测试和计量来提供高晶片吞吐量。TENCOR 6035配备了先进的自动光学检查（AOI）工具。此资产能够检测和表征电气短裤等缺陷并打开。它还允许用户获取高分辨率的地形和2D横截面图像。6035的自动显微镜使用了一种称为亮场成像的检查方法。明亮的现场成像能够实时显示精细的生产级功能。另外，ADE/KLA/TENCOR 6035显微镜还提供了晶圆缺陷的高分辨率图像，如线宽、针孔、边缘光刻、空隙、线缘粗糙度等。除了AOI之外，ADE 6035还配备了晶圆prober。此模型允许对晶片上的特定区域进行电气测试,以便确定性能方面的任何差异。晶圆prober还包括允许控制prober的功能和操作的软件。KLA 6035还能够对晶圆的结构进行高精度计量。该设备的计量能力提供有关晶圆的材料性能和机械行为的定量信息。它能够提供3D曲面测量,例如步高、地形和曲面粗糙度。它还能够测量晶圆形状和均匀度参数，包括轮廓、偏差和表面轮廓。总之，TENCOR 6035是一个自动化晶圆测试和计量系统，为缺陷表征、测试屈服测量和过程控制提供先进的功能。此单元由多个元件组成，如机械结构、AOI机、晶圆prober、计量能力等。6035工具还提供有关晶圆结构和特性的定量信息。