二手 ADE / KLA / TENCOR 6035 #293654293 待售

ADE/KLA/TENCOR 6035是由ADE Corp.开发的世界领先的晶圆测试和计量设备，该系统利用先进的非接触式白光干涉仪（WLI）进行半导体晶圆的检测、测量和表征。WLI技术的工作原理是从晶圆收集干涉图样，并从该图样计算表面地形。这是通过利用低失真图像位移传感器实现高空间精度的目标光束来实现的。然后将对象光束覆盖到参考光束上,该参考光束根据z-piezometer伺服控制的XY级扫描样品,从而在样品中提供快速可靠的横向扫描。ADE 6035能够一次捕获多达16个不同的参数，允许各种缺陷和计量测量，如粒子和表面地形、平坦度、步高、弓和弓的重复。这些测量可以在暗场和明场状态下使用专门的光学滤波器进行。该单元还包括一个基于轮廓的曲面分析程序，允许用户同时比较多个曲面的结果。此功能使用户能够可视化曲面数据中的模式和趋势,从而有助于识别样本之间的相关性。此外，该机器还具有重新测量功能，可随时间仔细可靠地测量特定特征。最后,KLA 6035能够为客户提供用于示例管理的自定义布局,其功能包括作业克隆和快速加载特定测试。这对于那些经常同时检查多个晶片的人来说特别有用。总而言之,6035晶圆测试和计量工具提供了一种高级的非接触式WLI解决方桉,它提供了多参数测量、轮廓曲面分析和可定制的样品管理等一系列优点。对于那些需要同时检查和测量多个晶片的半导体行业人士来说，这项资产是理想的选择。