二手 ADE / KLA / TENCOR 7000 #98411 待售

ADE/KLA/TENCOR 7000是一种高精度晶圆测试和计量设备，旨在测量和监测诸如蚀刻、沉积、电阻率和对准等制造工艺的性能。该系统能够使用各种先进的工具和技术检查和测量直径达200毫米的晶圆。ADE 7000由四个主要组件组成：高速扫描头、三维卡盘、视觉单元和过程控制软件。扫描头配备了一台AlignMark™视觉机器，能够在晶圆上每秒测量多达数千个位置。三维卡盘启用了完整的三维测量能力，使操作员能够调整晶圆特定元件的位置，以进行更精确的测量。视觉工具由强大的光学显微镜组成，能够测量x-y尺寸和线宽等关键器件参数。KLA 7000还具有RS 232接口,可以连接到大多数其他标准计算机。这使资产能够与其他设备（如阻抗分析器）接口,以测量晶圆的电阻率。此外，模型内置了许多高级数据分析和报告功能，为操作员提供了详细的图形结果。设备还提供了一个完整的工艺参数列表，在制造过程中可以很容易地进行调整和监控。这使操作员能够最大限度地提高测量的准确性，并确保一致的高质量结果。此外,该系统是高度可定制的,可用于各种应用程序。总体而言，7000是一个先进的晶圆测试和计量单元，旨在提供准确和可靠的测量结果。它提供了强大的光学显微镜、三维卡盘、高速扫描头和过程控制软件,以确保在各种制造过程中获得准确的结果。此外，该机器高度可定制，并提供各种高级数据分析和报告功能。