二手 ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937 待售

ADE/KLA/TENCOR 780 MRT是一种先进的半导体制造晶圆测试和计量设备。它旨在帮助表征晶片工艺和识别工艺缺陷,提供对工艺性能的深入了解,并最终帮助降低制造成本。ADE 780 MRT具有两个测量头-每个测量头都包含用于测量晶圆表面电性能的传感器和用于对晶圆表面进行详细成像的图像捕获系统。这些测量头进行晶圆光谱反射率、缺陷成像、电泄漏测量以及晶圆平坦度和经度测量。这两个测量头可同时用于提供在线和离线测量。晶圆可以串联处理，而另一个磁头准备进行实时测量；这种能力能够及早发现生产周期中的缺陷,并能快速反馈以改进过程或防止缺陷。在线测量可用于跟踪过程的各个方面，如晶圆清洁度、介电层厚度、平坦度等。然后,离线测量可用于检测缺陷并对其进行表征,处理非均匀性,并监测临界规格,如表面粗糙度、氧化物/硅比例和污染程度。KLA 780 MRT还提供了广泛的分析功能,提供了有关所测试材料的深入信息,使用户能够快速了解晶片上以及不同晶片批次之间的趋势。该单元可以生成从测量中收集的数据的多参数散射图,帮助识别问题并指导纠正措施。此外，该机器还提供了一系列与计量相关的软件解决方桉，用于分析从测量中收集的数据。这些解决方桉可以提供详细的报告，执行统计分析，比较晶圆上各个站点以及不同晶圆批次的数据。780 MRT用途广泛,可以使用各种硬件选项进行定制,例如防尘柜、自动晶圆分级工具、集成监控资产以及温度和湿度控制。总体而言,TENCOR 780 MRT为晶圆测试和计量提供了一个全面、通用的平台,使客户能够充分利用晶圆过程。它有助于快速准确地识别和描述流程问题,并为纠正措施提供必要的信息。