二手 ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720 待售

ADE/KLA/TENCOR 9350是一种晶圆测试和计量设备，适用于许多不同的过程，包括光刻、化学机械抛光（CMP）和沉积。该系统由两个组成部分组成，一个是综合计量和晶圆检验子系统，另一个是控制子系统。集成的子系统允许高效的测试和计量过程，使设备成为许多工业用途的理想选择。综合计量和晶圆检测子系统由一系列高分辨率成像光学器件、附加照明工具和自动计量机组成。成像光学可以进行全面的分析,包括微观成像、特征测量、缺陷表征和轮廓映射等。照明工具使晶片能均匀照明，这有助于减少光线强度极端所造成的图像像差。自动计量工具可以从多个角度即时捕获和存储晶圆的图像,从而可以进行详细的分析和描述。ADE 9350的控制子系统由高性能控制器和用户友好图形用户界面（GUI）组成。控制器用于控制流程参数,而GUI允许用户设置自动测试和计量流程,并实时查看获取的数据。用户友好的GUI还允许用户存储不同晶圆的图像，可以访问这些图像进行比较。此外，控制器还能够执行数据处理，如缺陷识别、模式识别、过程控制等。总体而言，KLA 9350是一种高效可靠的晶圆测试和计量资产，适用于许多工业应用。综合计量和晶圆检验子系统提供晶圆的综合分析和表征，而控制子系统易于使用，允许自动化测试和计量过程。这两个子系统的结合，使得晶圆的准确可靠的测试和计量，使模型成为许多过程的理想选择。