二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9248218 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一款最先进的晶圆测试和计量设备，将自动缺陷检测、薄膜和表面计量、缺陷审查等技术结合到一个平台中。ADE 9500 UltraGage为晶圆级过程控制提供了卓越的映射和分析功能,使客户能够测量、分类和跟踪影响产量的缺陷。KLA 9500 UltraGage提供了一个高度敏感的自动缺陷检测系统,其缺陷检测能力可达5 nm。集成的数字图像分析单元自动识别和收集数据进行分类，从而实现半自动缺陷审查。该机器还提供薄膜、电线、镜面和其他表面的自动系列测量功能。9500 UltraGage配备了法拉第杯技术、激光扫描共焦技术、旋转共振技术、光学散射测量和X射线技术等多种测量技术，能够测量晶圆和基板上各种薄膜厚度、深度、轮廓、平均面积、线宽、边缘粗糙度、表面平整度、倾倒图样等特性。该工具具有最佳性能,具有更快的信号/图像处理能力、更高的吞吐量、更高的稳定性和更大的检测范围。TENCOR 9500 UltraGage还配备了先进的光学检查功能，包括自动扫描/聚焦/照明功能、自动涂层膜厚度测量、Snell定律比较、光谱窄带成像等。该资产还支持明场监测、暗场成像、相移成像、多赢成像以及其他图像分析功能，以进行更准确、精确的分析。ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage的模块化设计使客户能够针对特定应用优化测试模型的功能,并提供用于3D成像、大规模缺陷审查和高密度模式识别的选项模块。它还与严格的OEM软件同步,将测量和分析过程与客户现有的系统集成在一起。最后,软件控制解决方桉提供了全面的数据管理和报告功能。总体而言,ADE 9500 UltraGage是一款综合性晶圆测试和计量设备,可提供最高水平的准确性、灵活性和速度。它将有助于准确查明影响产量的缺陷、优化过程并最终提高产品产量。