二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9249958 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage是一种晶片测试和计量设备，提供了一种可靠快速的测试方法，用于在粘合晶片上进行蚀刻、沉积和接触孔对准。该系统旨在促进制造环境中的过程计量应用,使用户能够轻松地监视和测量其产品的质量,并确保产品的完整性和性能。该单元利用独特的激光-光学反馈机制来测量制造过程中发生的微米级几何变化。光学测量三个参数,包括表面高度、横向位置和角度方向。这使得机器可以借助各种光学探针和传感器精确测量晶圆地形。该工具采用线性级将晶片移动到适当位置并提供必要的测量。激光光学反馈机制还允许测量蚀刻深度、沉积厚度和接触孔对准。ADE 9500 UltraGage还为用户控制提供了强大的资产。触摸屏方便面板采用直观的图形用户界面，确保操作方便。这允许用户快速设置或修改参数、启动测量并查看结果。还可以记录流程数据,并将其用于监测趋势和比较一段时间的准确性。该模型的创新光学设计确保了灵活、精确的台式扫描。光学元件安装在电动底座中,以确保晶片在边缘之间以连续运动的方式扫描。这样可以确保最高精度和可重复性,即使是严格的公差也是如此。KLA 9500 UltraGage是一款功能强大的晶圆测试和计量设备,可提供可靠、快速的过程计量应用分析。凭借其先进的激光光学反馈机制和直观的图形用户界面，用户可以准确测试和测量自己的产品，以确保产品的完整性和性能。