二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9131249 待售

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ID: 9131249
Wafer flatness measuring system Signal cassette E-station Rtvx controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500是一种晶圆测试和计量设备,利用光学技术分析半导体晶圆的性质。该系统旨在提供高度准确、可重复的结果,同时最大限度地减少手动交互的需求。它具有高达200毫米晶圆的大晶圆容量,是业内最高的可用晶圆。ADE 9500利用High-NA(数值孔径)Infinity Optics平台提供卓越的图像质量和高精度测量。有多种检查模式,包括中场、边缘场、圆形和同时光学测试。KLA 9500提供自动化晶圆测量,允许实时调整和优化检查参数,以确保结果一致。它具有可变空间分辨率的高速成像光谱单元,从具有不同几何形状和结构的晶圆捕获广泛的数据。此外,TENCOR 9500还提供了一套全面的自动化计量功能。该机提供了光谱椭圆偏振法、高通量晶圆寿命测试和分光光度反射法等选择。它还包括用于描述晶片层特征的全方位服务工具,以及用于计量和无损检测应用的复杂模式识别能力。该工具配有控制资产和可编程计算器,允许用户实时调整参数以优化数据收集。由于其先进的技术和功能,9500为复杂的计量建模和验证创造了理想的环境。它为晶圆测试提供了最全面的工具集,与手动过程相比,用户可以在很短的时间内生成准确且可重复的结果。ADE/KLA/TENCOR 9500是一款功能强大的工具,可帮助制造商加快生产过程,同时提供卓越的半导体晶圆。
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