二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9152997 待售
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已售出
ID: 9152997
Ultra gauge multi-measurement system
Includes:
Single cassette
ASC 1000 Controller
E-Station
Measures 8,700 data points in 60 seconds
2-D Contour map measurements
Thickness:
Center point
Five points or full wafer scan
Shape:
Bow and warp using 3-point
Global flatness:
SEMI GBI, TIR, FPD, FPD%
5-Points TTV
Site flatness:
SEMI M1 standards
Site size: 8-30 mm
Variable offsets
Thickness-accuracy: ±0/05 µm
Repeatability: 0.15 µm
Absolute range: Normal ± 125 µm
Global flatness: Accuracy ± 0.15 µm
Repeatability: 0.05 µm
Site flatness accuracy: ± 0.15µm
Wafer thickness: 400 µm - 1000 µm.
ADE/KLA/TENCOR 9500是专门为半导体制造应用而设计的晶圆测试和计量设备。它记录了半导体器件和元件的电气特性，便于处理和评估。该系统具备自动缺陷检测能力，能够检测可能损害设备性能的颗粒。ADE 9500利用了多种测试仪器，包括两个介电显微镜、三个光学显微镜、两个SEM和几个可变角度光谱椭圆仪。这些仪器,加上设备卓越的成像能力,可以快速准确地检查和测量缺陷、特征尺寸、均匀性、质量参数等。也可用于测量厚度、薄膜性质和屈服率。测试机还采用自适应模式识别（APR）技术来检测和分析可用于识别疾病适应症的特征。这种模式识别技术还用于检测和表征薄膜、电阻层和其他层中的互连、灰尘和污垢污染、材料不均匀和污染。KLA 9500还包括各种自动化晶圆储存器和放置工具,以提高吞吐量和准确性。这些工具简化了晶片的加载、卸载、放置和对齐,并且能够拾取和放置任何大小和类型的晶片。这使得设置用于分析晶片和执行测试的过程变得更加容易和快捷。该工具还可以编程为运行诊断测试,通常用于测量电阻值。这些测试在设计芯片时特别有用,在这些芯片中,失败测试可以帮助确定设备故障的根本原因。TENCOR 9500资产能够提供有关各种组件和设备的详细、全面和准确的信息。这些数据可用于提高生产质量和效率,以及降低成本。它还具有足够的通用性,可以适应各种半导体制造应用。9500型号设计为提供可靠、一致、准确的晶圆检测和计量。
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