二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9265520 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是为半导体工艺表征而设计的晶圆测试和计量设备。它结合了多种先进的技术和方法来测量晶片表面的质量，从最简单的结构到最复杂的结构。它允许对任何晶片或基材进行完整的表征,从预处理到后处理,从而实现准确的过程控制和设备制造,以及产量管理。该系统利用各种传感器来测量机械、电气和化学特性,以评估晶圆的表面。设备的机械传感器测量表面地形、粘附强度和表面粗糙度等因素。电气传感器测量电阻、电容和电流。化学传感器测量金属氧化膜、掺杂剂浓度和电阻率等元素。传感器的分辨率为一纳米，机器包括两种不同类型的扫描级，允许测量整个晶圆或特定位置。ADE 9500配备了先进的自动化软件，允许从传感器进行自动扫描和数据采集。自动命令从控制计算机发送到工具,以及从传感器返回数据。对收集的数据进行了可视化分析,以进行故障分析和过程优化。该软件包括一个广泛的数据处理算法库，允许用户轻松操作和解释数据。资产配备了多种安全功能，保护用户，防止设备损坏。ESD风机可保护模型免受静电放电,紧急断电开关可帮助保护电路和组件免受过电压条件的影响。该设备经过严格的安全测试，通过了国际自动化学会等安全标准组织的标准。KLA 9500是半导体行业必不可少的工具,可实现准确高效的工艺表征。它提供了多种高级功能和机器人,可实现高度精确的自动测量和数据采集,从而使用户能够准确地控制和管理其流程。该系统广泛的安全功能保护用户和设备,使其成为晶圆测试和计量中要求最高质量的任何应用程序的理想解决方桉。