二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9281188 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是一种晶圆测试和计量系统，旨在满足薄膜器件工程师对先进半导体应用的需求。它提供了一套全面的计量学功能，允许用户准确测量广泛的过程层。其独特的光学显微镜、激光干涉测量、散射测量等技术相结合，非常适合半导体工艺的预表征和产后故障排除。该装置能够精确测量晶片上薄膜层的光学、电气和结构特性。它包括用于映射、成像和分析表面地形（具有次Angstrom分辨率）以及样品的电气特性的功能。此外,系统还可以执行多种功能,例如临界尺寸（CD）测量、阵列成像和在线缺陷审查。ADE 9500还提供了样品的自动快速对准以及激光聚焦优化、粒子搜索、模具搜索、现场查看和感兴趣的区域变焦等多种自动化功能。它旨在通过常规校准帮助确保一致和可靠的测量性能。该系统包括各种模块化工具，这些工具针对特定的流程步骤和各种用户需求量身定制。准确的数据读数可以快速准确地生成。用户可以访问功能强大但直观的软件,使他们能够存储图像、分析结果和生成用于共享的报告。最后,KLA 9500具有直观的图形用户（GUI）驱动的工作流工具,可帮助用户更快、更简单地完成任务。高速数据传输和自动数据传输等附加功能可确保无缝工作环境。这一点加上其业界领先的计量技术，使得它成为任何先进半导体应用的绝佳选择。