二手 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9164709 待售

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage是一种晶圆测试和计量设备，为半导体行业提供精确、高质量的测量。它旨在为各种晶圆测试和计量应用提供快速、准确的结果，如模具和特征尺寸、薄膜厚度、涂层和晶圆图计量。它还能够自动测量和分析晶圆特性，以获取统计信息和产生信息。该系统具有一个超精确的测量单元，X-Y级能够在晶圆的大面积上自动映射轮廓。该级具有直线电动机，2轴定位精度小于1微米，重复性小于25纳米。该机还配备了高分辨率CCD相机，以便对晶圆几何形状和表面特征进行详细的可视化。该工具还利用广阔的视野，确保从不同角度准确读取，提高测量精度。对于性能测试，使用激光干涉仪提供前所未有的精度来测试结果。它具有高速测量能力、自适应时钟和抖动反馈,以提供准确的结果。资产还包括一个集成的微处理器和一个数据采集模型，以便对测量标准和数据采集进行编程。该设备提供易于使用的界面，使用户能够快速、轻松地设置和存储用户特定参数。最后，该系统包括一个集成的热室，允许样品晶片的温度测试。它还具有一个可编程的模块化控制器，能够控制多达四个热模块进行同时测试。此功能消除了手动温度控制的需要,确保了精确的测试结果。凭借其尖端技术和精确的测量能力，ADE 9520 UltraGage是一款功能强大的半导体行业晶圆测试和计量工具。它旨在快速、轻松地提供准确可靠的测试结果,从而能够快速、准确地生产高质量的产品。