二手 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9245050 待售

ID: 9245050
Dimensional measurement system ASC200 Controller included Thickness: ± 1.00µ Shape (Bow / Warp): ±( 3.00 + 5% of reading) µm ±( 4.00 + 5% of reading) µm Global flatness: ± 0.50 µm Integral wafer centering and pre-aligner Backside contacting chuck Vacuum chuck diameters: Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers Wafer contact materials: Resting pads: Santoprene Vacuum chuck: Polyurethane Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm Auto-loader: Single / Dual cassette Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette Backside contact, horizontal cassette orientation Wafer contact material: Teflon Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm Conductivity type: P / N Edge exclusion: Thickness: 3 mm / 5 mm Shape: 3 mm Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm Resistivity: > 0.1-200 Ω cm Edge gradient: 0.1 µm/mm Power supply: Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F) Relative humidity: 55 to 95% non-condensing Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10% Peak usage: 2.8 kVA Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10% 50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage是ADE设计制造的先进晶圆测试和计量设备。ADE 9520 UltraGage采用创新技术结合先进的硬件和软件功能,提供最高水平的准确性、精确度和性能。该系统旨在帮助用户测量半导体和微电子工业中使用的晶圆和基板的一系列关键特征和参数。KLA 9520 UltraGage基于具有顶级光学和图像处理功能的高速光学计量平台。这使用户能够以前所未有的分辨率和准确性来测量各种晶圆特性。该单元专为检查直径不超过12英寸的半导体基板而设计。它具有先进的XY级,可支持多达12英寸的晶圆,使其成为测量不同基板上微小特征的强大工具。机器配备了多种功能,使其能够有效地进行关键参数的测量。这包括一个先进的晶圆映射工具,可以检测样品晶圆上的痕迹缺陷、缺陷和污染。它还具有强大的算法,可以对测量值进行准确分析,并对各种底物之间的不均匀性进行统计检测。此外,9520 UltraGage内置软件,允许用户自定义晶圆质量控制和计量应用的参数,使他们获得更可靠的结果。该资产还配备了内置校准模型,以保证精确和可重复的测量,而强大的光学显微镜有助于快速识别任何表面缺陷。TENCOR 9520 UltraGage是晶圆加工过程中质量控制和表征的理想工具。由于其强大的特点,其卓越的精度和精确度,设备可以提供宝贵的洞察晶圆制造和检查。通过提供更好的性能和可靠性,ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage可帮助公司同时降低成本和确保质量。
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