二手 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9397228 待售

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage是为精确半导体器件测量而设计的晶圆测试和计量设备。它利用3 D光学非接触表面成像技术对表面特征和过程引起的缺陷进行快速、准确和可重复的测量。该系统还提供高级映射、轮廓、GageLinx和检查算法，以处理复杂的晶圆地形分析和控制。该单元的光学元件能够每秒检测多达100,000个数据点，从而能够对晶圆的整个地形进行全面分析。ADE 9520 UltraGage还具有高分辨率CCD摄像头,该摄像头可捕获用于光学成像和缺陷检测功能的数据。通过使用CCD摄像机和一系列表面光学器件,机器可以检测到尺寸不超过1nm的表面特征。除了收集数据外,KLA 9520 UltraGage还为用户提供了强大的计量分析和报告功能。软件提供了一整套可视化,包括高度映射和轮廓图,这些图形在收集新测量值时会自动更新。这允许用户实时识别过程引起的缺陷，并调整过程参数以确保质量控制。该工具的数字化I/O和自动化支持允许与现有过程控制系统完全集成,从而能够实时反馈制造条件。资产的强大的避错能力可以检测晶圆生产中的潜在问题并启动必要的航向校正。结合ADE AS2 Insight软件,9520 UltraGage提供了一个直观的操作环境,便于设置、校准和操作。用户友好的界面使模型能够配置用于各种应用程序,并使设备成为研究和生产应用程序的理想选择。TENCOR 9520 UltraGage是市场领先的晶圆测试和计量系统,可提供快速、可靠和准确的形式和缺陷测量。其自动化的光学和缺陷检测功能,加上强大的计量分析和报告功能,提供了最佳的质量保证和过程控制。当与AS2 Insight软件结合使用时,用户可以深入了解其生产过程,并最大限度地提高吞吐量和节省成本。