二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 / 9700 #9008898 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600/9700晶圆测试和计量设备是一种先进的计量系统，旨在协助半导体制造商进行晶圆的分析和映射。它利用光学、化学、电气和机械方法相结合，提供各种工艺步骤的综合分析。该单元基于灵活的模块化设计,可轻松集成到现有的测试和分析过程中。ADE 9600/9700能够测量多种参数，包括电阻率、电容、厚度、表面地形和成分等计量，而9700则具有先进的缺陷检测和表征能力。9600和9700系统围绕一个功能强大的数据采集和分析平台构建,可存储高达2 TB的数据。该机器可以根据个别半导体制造商的具体需求进行定制，从而实现高吞吐量和精确度。该工具可以运行手动和自动化过程,从而可以用于开发和生产测试。它能够测量各种样本量，从单个芯片到直径最大为450mm的晶片，设计目的是提供可靠、准确的读数，不会因暴露或氧化而漂移。KLA 9600/9700资产配备了广泛的光学、机械和电气测量设备，包括用于高分辨率晶圆测量的8级CCD成像模型、用于表面地形测量的高分辨率光学轮廓仪以及用于2D和3D电容测量的电阻率传感器。其他功能包括一个低暗电流/自测性设备，用于检测晶片上的短路和开路，以及缺陷定位和特性的缺陷审查系统。TENCOR 9600/9700是为高通量和精度而设计的先进计量和晶圆测试单元。该机器采用模块化设计,使客户能够根据需要添加和扩展其功能。这使得它成为半导体制造商的宝贵工具，提供全面的晶圆测试和计量能力。