二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9229873 待售
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ID: 9229873
Wafer inspection system
(2) Cassette input stations
(3) Cassette output stations
Prealigner station
Hi-RES Station
E-PLUS Advanced / Thickness
B/W Station
Signal effector am robot
9600 Power supply
Non contact P/N type tester for wafer resistivity: 0.1 to 200 ohm-cm
ADE 350 Arm controller
Auto A probe
ASC Controller.
ADE/KLA/TENCOR 9600是一种晶片测试和计量设备,旨在从加工溶液和应用于晶片的材料中对3D地形和表面特性进行高精度测量。它提供了前沿研发所需的灵活性，以及商业生产应用所需的可靠性。系统采用双光束、非接触、散射原理，具有快速、准确的分析能力。它使用红外CCD摄像机从被测样品产生的光散射信号中收集地形数据。该单元在独特的宽带和成像环境中跨越一系列激发波长运行。这样可以更准确地评估薄膜和纹理特性,每秒可测量1,000个或更多点。该机器还提供全场或单点电压对比度成像（VCI）,并具有内置反馈控制。此功能允许在未图案化的晶片上捕获纳米级的表面图像和轮廓,有助于表征晶片的平坦度和扭曲。除了计量功能外,ADE 9600还具有非接触晶片分析功能,允许用户在单个晶片上测量多达100层薄膜或层。它利用全局腔谐振器以比标准接触测量技术更高的分辨率测量晶圆厚度。嵌入在KLA 9600中的先进光学和图像处理使其成为研究和生产环境的理想选择。最大吞吐量、自上而下的成像和映射功能使9600成为检查晶圆级产品的理想工具。其集成的软件控制使用户能够配置流程参数以及监控、跟踪和分析晶圆测试结果。总之，TENCOR 9600是任何半导体研究和制造环境中必不可少的工具。其高精度和最先进的测量能力简化了晶圆测试和计量过程，从而产生了更精确的测量数据。ADE/KLA/TENCOR 9600采用多种映射、成像和分析技术,确保了在要求最苛刻的晶圆测试应用中的高性能和可靠性。
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