二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9234990 待售

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ADE / KLA / TENCOR 9600
已售出
ID: 9234990
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR 9600是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于半导体制造过程中的质量控制和工艺优化。它能够快速、准确和精确地表征晶圆曲面和图样,使操作员能够最大限度地减少昂贵的生产产量损失。该系统采用先进的非接触式光学计量技术,包括多次成像、测量和图像分析操作。它拥有集成的彩色CCD(电荷耦合器件)相机和激光衍射传感器以及8英寸晶圆检测范围。它还包括一个自动聚焦单元和一个行业领先的算法,快速准确的自动模式识别。这台计量机支持多种测量技术。它可以测量临界尺寸,如线宽、线间距、线端点和线角,以及更复杂的参数,如总线轮廓。它还支持光谱椭圆偏振法来测量各种厚度和折射率来表征薄膜。ADE 9600与最新的统计过程控制(SPC)软件集成在一起,能够对大型生产批次进行评估和分析。该工具附带各种专门的软件工具,如边缘检测、灰度映射和临界尺寸分析。这使操作员能够快速处理来自许多晶圆的大量数据,并轻松识别不符合标准的单元。KLA 9600拥有全面的可编程应用程序构建环境,可用于创建自定义半导体测试解决方桉。这包括功能强大的模式识别算法、现成的测量脚本库以及对C、C++和Visual Basic等外部编程语言的完全支持。最后,该资产具有高分辨率5.7英寸触摸屏显示屏和高度直观的图形用户界面(GUI)。这使得进行计量操作变得容易,减少了用户错误和进行测量所需的时间。9600是一个强大的晶圆测试和计量模型,旨在帮助制造商提高其半导体生产过程的质量和效率。凭借其先进的非接触式光学计量技术、业界领先的识别算法和通用软件工具,用户可以快速识别和分析晶圆表面的缺陷。
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