二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9240649 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600是由ADE开发的晶圆测试和计量设备。自2006年推出以来，ADE 9600由于能够在薄片上快速准确地测试小特性，已被半导体和平板显示行业广泛采用。KLA 9600系统具有水平构建光学（HBO）单元,可在高速下精确测量晶圆特征大小、形状和一致性。这台机器能够精确测量30nm至10 um范围内的特征尺寸，精确度极高。TENCOR 9600还配备了高达5um的高分辨率成像系统，允许对晶圆表面的小特征和缺陷进行高保真成像。9600工具还能够进行性能指标分析,以实现更快的过程控制和周期时间。资产利用迭加、临界尺寸（CD）、图像质量和晶圆旋转等指标快速诊断和改善工艺条件。此外，该模型还可以分析晶片表面的覆盖层组成、抗缺陷和污染。ADE/KLA/TENCOR 9600设备的设计考虑到了高可靠性,后端系统旨在在静态或动态环境中进行连续测试。该单元还设计了一整套自动化功能，包括校准功能、自动化结果处理、快速图像分析和自动压力应用。此外，ADE 9600机器被设计为与一个中央统一的软件平台接口，允许用户跟踪晶圆从一个晶圆到另一个晶圆的测试，即时检测任何晶圆缺陷，并便于更正。该工具还能够为用户提供有关产量和质量数据的快速反馈。总之，KLA 9600是一种先进的晶圆测试和计量资产，被半导体和平板显示器行业广泛采用。它具有Horizontal Build Optics （HBO）模型和用于精确晶圆特性测试的高分辨率成像系统,以及一系列自动化功能和统一的软件平台。