二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9241349 待售
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ID: 9241349
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
ASC 2000 System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Hi Res station
Lo Res station
Dual end effector robot
Light curtain.
ADE/KLA/TENCOR 9600是一种最先进的晶圆测试和计量设备,设计用于精确测量晶圆级产品的电气特性。ADE 9600系统采用了先进的基于光束的显微镜技术和局部光学单元,可实现高度精确、可靠的测量。该机器为晶片级测试和测量电阻、电容、晶体管特性等电气参数提供自动映射。KLA 9600利用专有的基于图像的像素分析技术,实际上消除了由于错误对齐和失真而造成的系统错误。其硬件包括双轴扫描仪、两个双光束显微镜和一个CCD成像工具,以实现卓越的成像性能,使电子参数的亚微米分辨率跨越晶圆。该资产还与高级软件套件集成在一起,提供全面的图像处理、映射、分析和诊断功能。该模型以自动化的方式运行,在整个测试和检查过程中提供了完整的可追踪性,包括访问整个晶圆的实时数据。主动校准设备可确保精确的测量,而独特的基于配方的数据管理使TENCOR 9600能够快速适应不同的处理条件。9600提供了无与伦比的准确性和可靠性,以帮助满足现代晶圆技术不断变化的需求。它获得专利的边缘跟随技术能够进行亚微米公差和精确边缘检测的测量,以进行晶圆边缘夹杂测试。其独特的外部校准能力确保无论温度如何都能得到一致的结果。它灵活、可扩展的体系结构允许升级和定制,使其成为晶圆特性的理想工具。简而言之,ADE/KLA/TENCOR 9600是一种先进的、高度精确的晶圆测试和计量系统,旨在提供可靠的电气参数测量,以满足现代晶圆技术的需要。凭借其强大的功能和技术,ADE 9600为持续的测试和验证过程提供了无与伦比的性能和准确性。
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