二手 ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074 待售
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已售出
ID: 9046074
Wafer characterization system, 8"
ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system:
Wafer Size 6" and 8"
High Accuracy Noncontact Prealigner
E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station
May accommodate up to 5 cassettes
Auto A Probe included
Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply)
System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System
Included:
Part No. 9300-DEET
Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135°
Part No. 7800-150-ASC2K
Standard ASC Software for ASC2000
Part No. 7800-180
15" ViewSonic Flat Panel Monitor
(2) Part No. 9300-36ND
Send "Universal" cassette station
(3) Part No. 9300-37ND
Receive "Universal" cassette station
Part No. 7800-6HZ
System configured for 60 HZ
Part No. 7820-220
Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA
Input Voltage: 220 V 50/60 HZ
Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug
Output: (1) L14-30R Receptacle
Part No. 025106-01
Topside Non-contact type
N or P type wafers
Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm
Part No. 444001 ReportTools
Part No. 9300-57EMI
High Range EMI, High-Accuracy
Resistivity Station
(0.200 - 199.9 ohm/cm)
Robot error when attempting to run calibration
Currently installed
2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScan是一种台式机晶片检查和计量设备，执行各种测试以评估半导体晶片的质量和特性。该系统提供高精度的分析和计量能力，以确定晶圆的结构特性。可以进行各种测试，包括对污染物和缺陷进行扫描，表征形状和尺寸，测量电气性能，分析统计过程控制数据以减少产量变异性和制造时间。ADE 9800 UltraScan具有多种功能,使其能够快速准确地检查半导体晶圆。它配备了自动化晶圆处理单元，以确保快速的样品交换能力。它还具有先进的成像和光学功能,可以非常详细地查看晶片的表面。此外，该机经过优化，以支持多种分析技术的一系列应用，包括扫描电子显微镜和共聚焦显微镜成像。机器还配备了多种功能，方便晶圆检测。它具有分析能力，能够识别晶片上的污染物和缺陷，并验证表面光洁度质量。它还具有详细的检查和计量功能来测量晶圆形状和尺寸的临界电荷,如螺距、边缘轮廓和半径。此外,KLA 9800 UltraScan还具有强大的统计过程控制（SPC）套件,用于生成SPC图表和控制图表,以监控生产产量并识别制造违规行为。该机还具有用于远程机器控制和数据共享的高级联网能力。它具有用于将控制器连接到本地或广域网的以太网端口,以及用于与其他系统集成的应用程序编程接口。这使得9800 UltraScan能够部署在工厂自动化和数据管理系统中。总体而言，TENCOR 9800 UltraScan是一款功能强大、精度高的晶圆测试和计量机器。它提供了多种功能,包括高级成像和光学、自动晶片处理、分析功能、详细的检查和计量功能,以及功能强大的SPC套件。此外,它还具有用于远程控制和数据共享的高级联网功能。这使得它成为评估半导体晶片和监测产量的理想选择。
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