二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293641958 待售

ADE / KLA / TENCOR AFS 3220
ID: 293641958
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种晶圆测试和计量设备,为各种晶圆测试和计量要求提供了高度的准确性和可重复性。它由光学晶片计量模块、晶片测试仪、剖面仪和数据采集系统组成。数据采集单元从测试和计量操作中获取和存储数据,为过程控制提供必要的数据。光学模块具有精密的光学石英衬板,旨在为用户提供卓越的稳定性和可重复性。它可以以各种放大倍率和粒度水平拍摄晶圆的图像,并依赖于多层微处理器控制的成像机。该工具能够在获取的数据上花费包括傅立叶分析和图像处理在内的各种类型的分析,以便为用户提供最准确的晶圆条件测量。晶片测试模块设计用于检测和分析各种模具缺陷,如短路和开路、模式缺陷和电气故障。测试仪采用高分辨率模式识别技术,允许快速可靠的缺陷检测。它还具有以高吞吐量速率运行测试的能力,因此非常适合大批量生产要求。Profilometer模块设计用于测量晶圆表面的轮廓以及任何其他表面特征。该剖面仪配有激光和纳米干涉仪头,可精确测量晶圆的剖面,精度低于微米。最后,数据采集资产允许从所有其他模块收集和存储数据。这些数据可以用来测量晶片质量,检测和分析缺陷,为过程控制和产量管理提供必要的信息。ADE AFS 3220模型是任何需要可靠、准确和可重复的晶圆测试和计量设备的组织的理想解决方桉。它具有多种功能,提供卓越的精确度,同时仍保持坚固、经济高效且节能的系统。
还没有评论