二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645322 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供与半导体晶圆的电气、光学和机械特性和性能有关的多个参数的可靠和准确的测量。该系统能够一次测量多达32个晶片，从而实现晶片测试和分析的高吞吐量。该设备在Windows 10上运行,具有21英寸显示屏,便于安装和操作。可以选择软件包来扩展机器可以处理的测量范围,使其能够覆盖更广泛的应用程序。它包括一个集成显微镜和三个测量头，提供对晶片表面的完全访问。ADE AFS 3220配备了高分辨率成像工具，允许精确测量表面拓扑和污染程度、线宽、临界尺寸和迭加保真度等参数。它的自动模式识别使资产能够检测模式，从而便于自动校准和确认测量。它还能够测量近距离公差装置结构和其他更复杂的设计。该模型的测量精度优于10nm，甚至适用于亚微米级工艺技术。KLA AFS 3220融合了ADE、KLA和TENCOR的多种技术。它基于具有晶圆卡盘、精确XY级和业界领先的控制设备的计量体系结构。它具有用于精确成像的高功率激光共聚焦分析系统，以及用于电气测量的精确可靠的涡流传感器。配备高分辨率RGB成像单元和隔振光学器件，进一步提升测量精度。AFS 3220设计用于各种基板和应用。它的模块化和可扩展性设计使它能够集成到各种生产环境中，提供可靠和准确的测量，而不管生产批量的大小如何。它还配备了标准的安全功能，以保护操作员和机器，使其适合24/7晶圆测试和检查操作。
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