二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645326 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圆测试和计量设备是一个强大的系统，结合了先进的图像检查、完全集成的计量和自动化晶圆处理技术，能够评估各种晶圆参数。凭借其独特的"双能"成像和先进的计量系统，ADE AFS 3220被用于半导体制造业，用于识别和测量硅基板上粒子、颠簸和其他缺陷的均匀性。该单元是同类设备中的第一个，采用获得专利的双能成像技术设计，能够一次捕获两个图像，每个图像代表不同的波长光谱。这允许对晶片表面上的粒子、颠簸和其他不规则性进行详细的分析，以及跨相似基板进行有效的比较以识别任何差异。KLA AFS 3220还具有先进的计量能力，能够精确测量和表征晶圆表面上的粒子、颠簸和其他不规则性。这包括能够测量特征的大小、形状和位置,以及能够生成数据以显示晶圆表面的变化。该机器还包括利用直观图形用户界面的自动晶片处理工具和能够从AFS 3220装卸晶片的自动机器人。这样可以确保以安全、安全和高效的方式处理晶片,从而减少停机时间并提高检查过程的总体速度和准确性。AFS 3230的设计具有高吞吐量和经济效益,在单一、独立的资产中提供准确可靠的结果。该模型能够以可重复和一致的方式自动检查各种基板上的不规则性和缺陷、分类和测量颗粒、颠簸和其他不规则性。通过将先进的成像和计量功能与自动晶圆处理设备相结合,TENCOR AFS 3220为半导体制造商提供了最佳解决方桉,使其生产线保持最高的质量和效率。
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