二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645327 待售
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ID: 293645327
晶圆大小: 12"
优质的: 2021
Wafer inspection system, 12"
Flatness measuring
2021 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种最先进的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体元件的高精度、高通量测量和测试。它提供了从头到尾在整个制造过程中评估和监控半导体晶片质量的能力。该系统为晶圆测试和计量提供了一套全面的功能，并已为生产环境设计。该装置具有高精度和高速CCD成像引擎，能够产生高达1.6亿像素分辨率的图像。这种强大的成像引擎与高精度激光和光学机器相结合，使其能够精确测量半导体晶片上的关键特征。精密激光工具可以测量小至0.4微米的特征，并正确参考晶圆表面，以实现精确的对准和可重复性。该资产通过其缺陷分析工具能够检测到各种半导体缺陷。它使用先进的模式识别技术来准确识别和分类各种参数中的缺陷,例如大小、形状和位置。该模型还具有先进的Overlay and Critical Dimension （OCD）控制，使其能够以高精度和可重复性测量模模对晶圆和模模对晶圆的偏移。这样可以确保所有晶圆的测量都是一致和可靠的。ADE AFS 3220的一整套报告和分析工具为制造过程提供了可行的见解。它能够提供生产、产量和质量数据的详细统计分析,使工艺工程师能够快速识别和解决工艺问题。设备还包括一套显示工具,可实时显示生产数据,从而使用户能够快速识别趋势和处理问题。综上所述，KLA AFS 3220是一个强大的晶圆测试和计量系统，能够在生产环境中提供高精度的结果。该单元能够检测到一系列缺陷,其全面的报告和分析工具可准确了解制造过程。
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