二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645328 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是针对半导体器件和材料表征进行优化的高性能晶圆测试和计量设备。该系统具有获得专利的自动加载和卸载功能,可方便地处理直径达8英寸的晶片。采用全自动对焦稳定（AFS）技术,在晶圆参考和计量操作期间,即使晶圆的位置发生变化而无需手动调整,设备也会自动保持稳定对焦。ADE AFS 3220机器为用户提供了许多功能强大的计量功能,从顶部和底部表面扫描和成像功能开始。该工具采用的先进光学技术比传统方法提供了更高的精度和准确性，提高了测量的可重复性。凭借其高分辨率扫描，用户可以检测到微缺陷和成像伪像，可以大大减少晶圆浪费。对于缺陷/粒子检测、传统的CD计量学以及其他自动计量学操作，先进的软件算法确保快速获得高度准确的结果。除了其无与伦比的性能外,KLA AFS 3220晶圆测试和计量资产还提供了广泛的其他功能和优势,例如,专门设计的自动缺陷审查模型,使用户能够快速准确地识别和鉴定缺陷。该设备还具有可定制的测试配方,可根据所采样的产品类型定制系统参数-这有助于提高产量和吞吐量。TENCOR AFS 3220的其他特点包括高精度测量的超低噪声设计和综合晶圆配准、子像素对准、缺陷检测与鉴定的先进视觉单元。最后，AFS 3220晶片测试和计量机为器件和材料的表征提供了一种高效可靠的解决方桉。该模型具有上下表面扫描、先进的聚焦稳定技术、自动化缺陷审查工具、可定制的测试配方、超低噪声设计以及先进的视觉资产,旨在为用户提供一致准确的结果。
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