二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645333 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圆测试和计量设备是一个自动化的半导体计量系统，设计用于生产过程中晶圆的自动化、高通量监测。该单元是一个完全集成的自动工具平台，由先进的算法和软件加上自动晶圆处理机设计而成。ADE AFS 3220设计用于晶圆的快速精确测量。该工具具有多传感器光学计量、过程动力学和缺陷检测、数据管理以及多个晶圆的相关性。KLA AFS 3220利用多个传感器在短时间内同时测量晶圆全表面的晶圆参数。点对点扫描可在可见光谱和红外光谱中使用，精度可低至10纳米。晶圆映射也可与自动晶圆居中配合使用。晶圆上的缺陷可以以每小时几千的速度检测到。AFS 3220具有多项高级流程控制和诊断功能,如集成缺陷审查、流程反馈和流程监控。这样可以在给定批次中快速自动化生产过程并提高产量和节省成本。此外,数据管理资产还提供全面的晶圆计量数据,并可集成到工厂自动化系统中。TENCOR AFS 3220具有直观的用户友好界面,具有各种图形显示,可用于数据查看和分析。这样可以方便地访问模型参数和深入审查结果。该设备还配备了车载自我诊断和自动校准程序。总体而言，ADE的ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圆测试和计量系统是一个完全自动化和集成的单元，旨在对生产过程中的晶圆进行准确、快速和无DRAM的监测。该机包括多传感器光学计量、工艺动力学与缺陷检测、数据管理、多晶圆相关性、自动化校准例程等几个集成组件，使其成为高效厂商的绝佳选择。
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