二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293660055 待售

ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种用于计量和晶圆检验的高端晶圆测试和计量设备。该系统由多通道激光剪切干涉仪和三维激光表面剖面仪组成。它有64个激光通道，用于晶片和模具表面地形的测量和成像。ADE AFS 3220还提供了一系列软件应用程序来提供表面数据分析和晶圆检查。KLA AFS 3220的激光剪切干涉仪设计用于使用两个激光器和一个分裂光束测量样品的表面高度。这样可以在广泛的曲面上进行高度精确的测量。3 D激光表面剖面仪使用高分辨率扫描单元提供样品表面的详细视图。它可以在200毫米范围内以亚纳米精度检查地形。AFS 3220还有几个用于数据分析和晶圆检查的软件应用。其中包括WaferMap™，这是一个软件包，用于自动分析晶圆地形和缺陷检测。另一个工具Deformetrica™设计用于测量和分析样品在三个维度上的表面高度。此外，它还能检测和分析样品表面的图样，表明晶圆存在缺陷。TENCOR AFS 3220是一种功能强大的晶圆测试和计量机器，用于对晶圆和模具表面进行高度精确的测量。ADE/KLA/TENCOR AFS 3220采用激光剪切干涉仪和3D激光表面剖面仪,提供了表面地形的详细视图,可快速检测和表征晶圆缺陷。此外，它的软件套件还提供样品表面高度和图样测量能力的自动化分析。ADE AFS 3220共同为晶圆测试和计量提供了完整的解决方桉。