二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293660057 待售

ADE / KLA / TENCOR AFS 3220
ID: 293660057
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Wafer inspection system, 12" 2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种高性能晶圆测试和计量设备,开发用于半导体制造等工业应用。它为精确的过程和晶圆检验、计量和分析提供了一套全面的特征。ADE AFS 3220设计具有强大的测量和测试接口,能够使用广泛的测量和测试工具,如晶圆探针、光学计量系统和其他具有高度兼容性的子系统。这允许执行各种表征任务,包括电气表征、3D成像、临界尺寸测量、薄膜地形和曲面拓扑测量。该系统集成了一个自动化测试单元,以帮助加快数据收集和分析。该机器还包括强大的数据分析功能,支持先进的统计技术和数据的实时分析。该工具可以执行根本原因分析、确定过程参数之间的相关性以及识别异常值。图形用户界面(GUI)为快速高效的数据分析提供了直观易用的环境。KLA AFS 3220还提供晶圆分类排序功能。这允许自动晶片准备和测试过程,以及根据测试结果将晶片分类为分级组。这是大批量制造半导体器件的重要特点。为了进行流程优化,TENCOR AFS 3220集成了一个完全自动化和可重复的控制资产,其中包括一组全面的流程和设备分析工具。该模型有助于快速准确地查明工艺问题,最大限度地提高工艺产量。设备还包括用于存储和分析每个晶圆的过程信息的高级日志功能。总体而言,AFS 3220是一个易于使用、功能强大且可靠的系统,专为大容量工业半导体制造过程而设计。其全面的测量和测试能力、快速的数据分析以及先进的过程控制功能使其成为晶圆测试和计量的宝贵工具。
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