二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757402 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种半自动晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体材料的物理、电气和光电特性。该系统提供视觉检查和自动缺陷分类、晶圆映射和电阻测试，以及用于晶圆表面和背面检查的集成光学成像站。ADE AFS 3220包括一个光学显微镜，带有可编程的桥和150毫米双头可操作性，能够对晶圆两侧进行高精度检查。高分辨率偏振光和反射检查选项有助于分析氧化物和CARI及其他材料。该单元还包括最多四个测量时检查（MWI）激光二极管，半导体器件快速电气测试最流行的工具之一。这种高精度、集成的机器提供准确、可重复的设备参数读数，并能够高速电气定位缺陷。该工具中包含一个摄像头工作站,用于启用参数计量、图像分析和实时缺陷掩蔽。自动缺陷分类（ADC）允许用户根据特性快速定位和分类缺陷，而晶圆映射功能则提供了晶圆结构和数据模式的即时概述。晶圆映射可应用于部分和全高晶圆。KLA AFS 3220旨在满足业界对运营、可靠性和资产集成的最高要求。其强大的组件和软件旨在确保最大的数据准确性和模型稳定性。它具有直观、用户友好的界面,需要最少的维护和培训。它具有多种工具访问和选项功能,可以针对从单用户解决方桉到多用户解决方桉的各种特定于客户的应用程序进行配置,而它的可扩展性使其成为一项投资,随着时间的推移它将继续产生结果。TENCOR AFS 3220晶片测试和计量设备被设计为一种集成解决方桉,可满足您对自动晶片检查、缺陷分类和电气测试的所有需求。该系统能够最大限度地提高生产产量、准确性和节省成本,并提供开发和生产先进微电子所需的完整、一致的信息。
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