二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293771675 待售
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220是一种晶圆测试和计量设备，为晶圆正面和背面的应用特定测量提供2D和3D数据的高分辨率。该系统旨在检测半导体晶片上的表面缺陷，以及测量各种轮廓和临界尺寸参数。此单元可通过独立的X轴和Y轴舞台运动实现阵列化测量,并利用高速、高分辨率的成像机,该机结合了自动聚焦、模式识别和缺陷检测工程,生成X轴和Y轴分辨率高达5 µm的2D图像和3D表面图像。该工具还具有10英寸镜面和电动Z轴舞台升降机资产来捕获数据,以及一个完全可编程的5位集成照明模型,使用UV、Visible和IR光源,从而能够准确分析反射率和表面特征。高度自动化的设备还具有高级缺陷审查和分类工具,这些工具可实现缺陷分析、分类和识别。此外，系统还包括ADE Process Monitor（KPM），提供实时数据分析和性能监控。KPM能够确定缺陷的原因,并能够及时采取纠正措施和提高产量。最后,ADE AFS 3220提供了一个集成的环境,用于检测、审查和分类缺陷,以及测量阵列化2D和3D曲面轮廓上的参数。该单元在Windows 10平台上运行,允许轻松定制缺陷审查和测量参数以满足特定需求。KLA AFS 3220具有多种选择,是一种有效可靠的晶圆测试机器,用于评估和比较高容量和低容量部件。
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