二手 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #9055341 待售

ADE/KLA/TENCOR AFS 3220晶圆测试计量设备是一套用于半导体加工现状的综合工具。它设计有一个非常高效和准确的检测系统，用于检测晶片中的缺陷，降低成本和提高产量。ADE AFS 3220单元包含若干组件,如高级缺陷审查机、自动表面表征工具、自动焦点识别资产,以及用于测量关键参数的若干自动控制系统。先进的缺陷审查模型使用大量的摄像头来检测和分析测试晶片表面的缺陷。它能够识别几乎所有可能的缺陷，从小缺陷到大缺陷，如划痕、颗粒、污染、印刷错误的特征、对齐差异、不完整的重复结构以及其他与工艺有关的问题。它还提供了缺陷严重程度及其在晶片上的位置的详细分析。自动化表面表征设备用于测量临界晶片表面参数，如表面粗糙度、平坦度、均匀性、附着力和表面损伤。该系统能够测量和提供与晶圆的电气、机械和化学性质有关的不同参数的精确值。自动焦点识别单元自动调整晶圆的焦点，以确保精确的测量。它还能够提供实时反馈，使机器能够跟上半导体制造快速变化的步骤。除了这些部件外，KLA AFS 3220工具还有几个自动化的控制系统，用于测量温度、湿度、压力等各种参数。这些控制系统使操作员能够保持安全和一致的环境以进行处理。TENCOR AFS 3220资产是一种用途极为广泛的模型，旨在检测和分析晶圆表面的各种缺陷和特性。可用于缺陷检测、工艺控制、屈服增强等众多应用。它的自动化组件确保准确、高效和快速的缺陷检测和分析,从而提高产量并降低成本。