二手 ADE / KLA / TENCOR CR81e #293771795 待售
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ID: 293771795
优质的: 2003
Wafer inspection system
(4) Cassette stations
BROOKS AUTOMATION Load SMIF Robot arm
BROOKS AUTOMATION Unload SMIF Robot arm
KENSINGTON Robot with controller
Inspection stage with optical module
Vacuum: 21 SCFH at 26" Hg
CDA: 81 PSI, 200 cu in/hr min
General exhaust: 4" Duct, 400 CFM
SSL Laser
PSL Calibration
Particle sensitivity:
120 nm LSE
105 nm LSE
Spare parts for CR81e:
Part number / Description
12051137 / LAMBDA Power supply box
12051333 / Dark R268PMT group
12051134 / Bright channel light vacuum tube
12058488 / Air pressure
12051338 / Dark channel arc mirror
12051339 / Focal lengh lens 100MMFL 25.4 mm
12051340 / Robatic arm set
12051513 / Standard wafer supporter
122052995 / PMT Air traffic controller 0092493-001
120562228 / Collection group 398-20281-1
12058498 / KENSINGTON Arm tip
12058499 / KENSINGTON Edge alignment chuck
12114222 / 68060 array processing board 398-20406-1
12114223 / Bright channel analog board CH-0398-20883-1
12114226 / Bright channel analog board CH-1398-20884-1
12114227 / HAZE Tablet 398-20705-1
12114228 / Daek channel X-Axis plate (12BIT) 398-20733-1
12115229 / Bright channel X-Axis plate 398-20630-1
12114231 / Bright channel X-Axis plate CH-1398-20706-1
12114232 / Origin of the pulse plate 398-20841-1
12149175 / CCD Signal transmission board, Robatic arm, 03142
121499223 / CCD Brush, Robot arm, 031409-27
12178367 / Oppsosite signal receiving board, 031409-08
Power supply: 208 VAC, 30 Amps, 47-63 Hz, 3 Phase
2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR CR81e是为半导体工业设计的先进晶圆测试和计量设备。它提供了一整套用于表征和分析半导体晶片的功能,以确保在其上产生的集成电路（ICs）的最高质量和性能。ADE CR81e是一种高度先进的工具,它集成了各种测量技术,为半导体制造过程控制和产量管理提供准确可靠的数据。KLA CR81e系统的主要特点之一是能够对半导体晶片进行无损检测。这意味着该单元可以分析晶片的特性而不会对其造成破坏，让制造商最大限度地减少材料浪费，降低成本。机器使用光学、电气和物理测量技术相结合，评估晶片的关键参数，如厚度、地形、缺陷密度和电气性能。TENCOR CR81e配备了先进的成像能力，包括亮场、暗场和共聚焦显微镜，以可视化高分辨率晶片的结构和形态。这允许用户精确、精确地检查晶片上存在的表面质量、图桉均匀性和缺陷。该工具还具有自动图像分析算法,可以快速处理大量数据以识别和分类缺陷,以便进一步分析。除了成像，CR81e还利用先进的光谱技术，如光致发光和拉曼光谱，分析晶片的化学成分和晶体结构。这些技术提供了有关晶片中存在的材料特性、掺杂剂浓度和结构缺陷的宝贵信息，这对于评估在晶片上制造的半导体器件的质量和可靠性至关重要。资产可以进行快速和敏感的测量，以检测晶片组成和结构的细微变化，使制造商能够优化其工艺，以获得更好的性能和产量。此外，ADE/KLA/TENCOR CR81e采用先进的计量工具，如原子力显微镜（AFM）和椭圆偏振法，以纳米级精度测量晶片的物理尺寸和光学性质。这些工具使用户能够表征晶片的表面粗糙度、薄膜厚度和折射率，这对于控制半导体制造中的层沉积和蚀刻过程至关重要。该模型可以生成晶圆属性的详细2D和3D映射,从而提供对可能影响设备性能的过程变化和缺陷的宝贵见解。总体而言，ADE CR81e是一种综合性晶片测试和计量设备，为半导体制造商评估其晶片的质量和可靠性提供了广泛的能力。其先进的成像、光谱和计量技术使晶片的特性能够精确表征，有助于优化制造工艺，提高器件性能，提高半导体产量。KLA CR81e是半导体制造质量控制和工艺优化的有力工具，使其成为确保先进半导体器件在市场上成功的不可或缺的资产。
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